См. Документы Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации
МИНИСТЕРСТВО ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ПРИКАЗ
от 3 февраля 2014 г. N 69н
ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО СТАНДАРТА
"ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ В ОБЛАСТИ ПРОИЗВОДСТВА
НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СВЧ-МОНОЛИТНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ"
В соответствии с пунктом 22 Правил разработки, утверждения и применения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 22 января 2013 г. N 23 (Собрание законодательства Российской Федерации, 2013, N 4, ст. 293), приказываю:
Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт "Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем".
Министр
М.А.ТОПИЛИН
Утвержден
приказом Министерства труда
и социальной защиты
Российской Федерации
от 3 февраля 2014 г. N 69н
ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ
ИНЖЕНЕР-ТЕХНОЛОГ
В ОБЛАСТИ ПРОИЗВОДСТВА НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ СВЧ-МОНОЛИТНЫХ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
┌────────────────┐
│ 26 │
└────────────────┘
Регистрационный
номер
I. Общие сведения
Производство интегральных схем, микросборок и ┌──────────────┐ микромодулей │ 40.007 │ _________________________________________________________ └──────────────┘ (наименование вида профессиональной деятельности) Код
Основная цель вида профессиональной деятельности:
┌─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐ │Производство наногетероструктурных сверхвысокочастотных (СВЧ) монолитных │ │интегральных схем (МИС СВЧ) с использованием нанотехнологий │ └─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┘
Группа занятий:
|
2111
|
Физики
|
2113
|
Химики
|
|
(код ОКЗ <1>)
|
(наименование)
|
(код ОКЗ)
|
(наименование)
|
--------------------------------
<1> Общероссийский классификатор занятий.
Отнесение к видам экономической деятельности:
|
26.11.3
|
Производство интегральных электронных схем
|
|
(код ОКВЭД <2>)
|
(наименование вида экономической деятельности)
|
--------------------------------
<2> Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт (функциональная карта вида профессиональной деятельности)
|
Обобщенные трудовые функции
|
Трудовые функции
|
||||
|
код
|
наименование
|
уровень квалификации
|
наименование
|
код
|
уровень (подуровень) квалификации
|
|
A
|
Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ
|
7
|
Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ
|
A/01.7
|
7
|
|
Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ
|
A/02.7
|
||||
|
Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ
|
A/03.7
|
||||
|
Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD)
|
A/04.7
|
||||
|
Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования
|
A/05.7
|
||||
|
B
|
Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства
|
7
|
Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации
|
B/01.7
|
7
|
|
Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ
|
B/02.7
|
||||
|
Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ
|
B/03.7
|
||||
|
Реализация технологии на основе электронной литографии
|
B/04.7
|
||||
|
Реализация технологии на основе проекционной литографии
|
B/5.7
|
||||
|
Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций
|
B/6.7
|
||||
|
C
|
Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ
|
7
|
Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике
|
C/1.7
|
7
|
|
Подготовка и квалификация машин к росту продукции
|
C/2.7
|
||||
|
Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев
|
C/3.7
|
||||
|
Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика
|
C/4.7
|
||||
|
D
|
Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ
|
7
|
Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии
|
D/1.7
|
7
|
|
Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ
|
D/2.7
|
||||
|
Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации
|
D/3.7
|
||||
|
Управление командой по реализации ОРТ
|
D/4.7
|
||||
III. Характеристика обобщенных трудовых функций
3.1. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ
|
Код
|
A
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
Происхождение обобщенной трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Возможные наименования должностей
|
Ведущий инженер-технолог
Инженер-технолог
|
|
Требования к образованию и обучению
|
Высшее образование - специалитет, магистратура
|
|
Требования к опыту практической работы
|
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке <1>;
инструктаж по безопасному ведению работ
|
--------------------------------
<1> Приказ Минздравсоцразвития России от 12 апреля 2011 г. N 302н "Об утверждении перечней вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры (обследования), и Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров (обследований) работников, занятых на тяжелых работах и на работах с вредными и (или) опасными условиями труда" (зарегистрирован в Минюсте России 21 октября 2011 г., регистрационный N 22111), с изменением, внесенным приказом Минздрава России от 15 мая 2013 г. N 296н (зарегистрирован в Минюсте России 3 июля 2013 г., регистрационный N 28970).
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности
|
|
ОКЗ
|
2111
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики
|
|
2113
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики
|
|
|
ЕКС <2>
|
-
|
Инженер-технолог
|
|
ОКСО <3>
|
5507002
|
Электроника и микроэлектроника
|
|
01.04.04
|
Физическая электроника
|
--------------------------------
<2> Единый квалификационный справочник должностей руководителей, специалистов и служащих.
<3> Общероссийский классификатор специальностей по образованию.
3.1.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ
|
Код
|
A/01.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ применения материалов в интегральной электронике СВЧ, основанной на гетероэпитаксиальных структурах
|
|
Анализ физических и технологических принципов разработки и изготовления активных элементов с применением новых и традиционных материалов СВЧ (гетеротранзисторов с высокой подвижностью электронов, низкобарьерных диодов и др.)
|
|
|
Прогноз применения материалов в наногетероструктурной электронике для определения политики организации в области производства наногетероструктурных МИС СВЧ
|
|
|
Необходимые умения
|
Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации
|
|
Необходимые знания
|
Технический английский язык
|
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
|
|
|
Технология наногетероструктурных МИС СВЧ
|
|
|
Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ
|
|
|
Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за прогнозные оценки развития производства
|
|
Деятельность, направленная на решение нетиповых задач технологического характера
|
3.1.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ
|
Код
|
A/02.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ
|
|
Разработка технически и экономически обоснованных планов развития новых производств или модернизации существующих для освоения новых направлений в производстве МИС СВЧ
|
|
|
Представление планов развития для обсуждения и принятия на научно-техническом совете (НТС)
|
|
|
Необходимые умения
|
Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации
|
|
Готовить планы развития
|
|
|
Готовить презентации
|
|
|
Необходимые знания
|
Технический английский язык
|
|
Технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях
|
|
|
Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ
|
|
|
Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за прогнозные оценки развития производства
|
|
Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера
|
3.1.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ
|
Код
|
A/03.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ прогнозных оценок тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ
|
|
Постановка целей и задач проведения опытно-технологических работ по разработке новых ТП производства МИС СВЧ
|
|
|
Декомпозиция задач ОТР, выделение базовых ТП и установление временных рамок и последовательности их разработки
|
|
|
Представление планов развития для обсуждения и принятия на НТС
|
|
|
Формулирование ТЗ для определенной последовательности разработки базовых технологических процессов
|
|
|
Оформление ТЗ на ОТР
|
|
|
Представление и защита разработанных ТЗ на НТС
|
|
|
Необходимые умения
|
Формулировать цели, задачи, разрабатывать и согласовывать ТЗ на проведение связанных системно ОТР
|
|
Необходимые знания
|
Физика и технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях
|
|
Системный анализ
|
|
|
Методы декомпозиции сложных задач
|
|
|
Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ
|
|
|
Технико-экономическое обоснование развития отрасли
|
|
|
Стандарты на проведение опытно-технологических работ
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за развитие производства
|
|
Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера
|
3.1.4. Трудовая функция
|
Наименование
|
Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том числе МИС СВЧ, изготавливаемых на основе гетероструктур (TCAD)
|
Код
|
A/04.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ требований КД на МИС СВЧ
|
|
Выбор на основе опыта и в соответствии с ТЗ и КД материалов и типа наногетероструктуры
|
|
|
Моделирование наногетероструктур, определение их параметров, необходимых для расчета активных элементов (СВЧ-транзисторов, диодов) с использованием TCAD и других программных продуктов
|
|
|
Моделирование технологического процесса изготовления активных элементов, определение параметров ТП на основе данных моделирования
|
|
|
Моделирование технологических операций изготовления пассивных элементов - линий передачи, конденсаторов, резисторов, мостов и др.
|
|
|
Отчет о результатах моделирования, согласование его с руководителем и передача технологу для использования при разработке ТД
|
|
|
Необходимые умения
|
Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ
|
|
Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ
|
|
|
Необходимые знания
|
Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов
|
|
Параметры полупроводниковых материалов
|
|
|
Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ
|
|
|
Основы технологии МИС СВЧ
|
|
|
Методы сквозного проектирования МИС СВЧ
|
|
|
Единая система технологической документации (ЕСТД), нормативная документация, регламенты, принятые в организации
|
|
|
ГОСТ по постановке продукции на производство
|
|
|
Другие характеристики
|
Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ
|
|
Деятельность, направленная на подготовку заданий на конструирование МИС СВЧ
|
3.1.5. Трудовая функция
|
Наименование
|
Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования
|
Код
|
A/05.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ требований КД на МИС СВЧ, а также данных моделирования наногетероструктур, активных и пассивных элементов
|
|
Оценка на основе опыта и экспериментальных данных реализуемости технологии изготовления на МИС СВЧ и возможных рисков
|
|
|
Выбор на основе нормативных документов ТП, в наиболее полном виде обеспечивающих требования к параметрам МИС СВЧ
|
|
|
Составление ТЗ на разработку ТД с учетом требований КД
|
|
|
Согласование ТЗ в соответствии с регламентом, принятым в организации
|
|
|
Необходимые умения
|
Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ
|
|
Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ
|
|
|
Составлять согласно стандартам технические задания на разработку ТД МИС СВЧ
|
|
|
Оформлять ТД для сопровождения производства МИС СВЧ
|
|
|
Взаимодействовать с коллективами цехов, участков
|
|
|
Необходимые знания
|
Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов
|
|
Параметры полупроводниковых материалов
|
|
|
Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ
|
|
|
Основы технологии МИС СВЧ
|
|
|
Методы сквозного проектирования МИС СВЧ
|
|
|
ЕСТД, нормативная документация, регламенты, принятые в организации
|
|
|
Стандарты по постановке продукции на производство
|
|
|
Другие характеристики
|
Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ
|
|
Деятельность, направленная на подготовку заданий на разработку технологических процессов МИС СВЧ
|
3.2. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства
|
Код
|
B
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
Происхождение обобщенной трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Возможные наименования должностей
|
Ведущий инженер-технолог
Инженер-технолог
|
|
Требования к образованию и обучению
|
Высшее образование - специалитет, магистратура
|
|
Требования к опыту практической работы
|
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
инструктаж по безопасному ведению работ
|
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности
|
|
ОКЗ
|
2111
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики
|
|
2113
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики
|
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог
|
|
ОКСО
|
5507002
|
Электроника и микроэлектроника
|
|
01.04.04
|
Физическая электроника
|
3.2.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации
|
Код
|
B/01.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ КД и ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к технологии производства
|
|
Обоснование выбора маршрутной технологии
|
|
|
Разработка маршрутных карт ТП изготовления МИС СВЧ
|
|
|
Расчет технологических режимов операций
|
|
|
Разработка операционных карт ТП
|
|
|
Оформление технологической документации на ТП, согласование ее в соответствии с установленными регламентами
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать с нормативной документацией
|
|
Работать в системе автоматизации проектирования (САПР) подготовки ТД для производства МИС СВЧ
|
|
|
Необходимые знания
|
Технология производства МИС СВЧ
|
|
Стандарты для подготовки технологической документации
|
|
|
САПР подготовки ТД
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество технологической документации на производство МИС СВЧ
|
3.2.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ
|
Код
|
B/02.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Тестовый запуск, сопровождение и контроль выполнения технологических операций в ходе изготовления экспериментальной партии МИС СВЧ
|
|
Анализ данных измерения параметров тестовых структур МИС СВЧ, внесение предложений по коррекции режимов в технологическую документацию
|
|
|
Сопровождение установившегося технологического процесса производства МИС СВЧ: формирование баз данных измерения и контроля, составление протоколов и актов контроля параметров МИС
|
|
|
Анализ данных измерений и контроля, предложения об изменении параметров ТП
|
|
|
Необходимые умения
|
Проводить анализ технологической документации
|
|
Работать на части технологического оборудования
|
|
|
Необходимые знания
|
Стандарты на ТД: нормативная документация отрасли, организации на технологические процессы
|
|
Основы технологии МИС СВЧ
|
|
|
Система менеджмента качества (СМК)
|
|
|
Другие характеристики
|
Профессиональная деятельность, направленная на согласование работ группы инженеров-конструкторов и инженеров-технологов
|
3.2.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ
|
Код
|
B/03.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ ТЗ в части требований к параметрам исходных материалов и выполнения отдельных операций при изготовлении МИС СВЧ
|
|
Разработка методик, выбор оборудования входного контроля материалов, используемых в производстве МИС СВЧ: подложек, металлов, диэлектриков и др.
|
|
|
Разработка методик, выбор оборудования межоперационного контроля на тестовых структурах и элементах МИС СВЧ
|
|
|
Разработка методик, выбор оборудования выходного контроля на тестовых структурах и МИС СВЧ
|
|
|
Руководство проведением всех видов контроля
|
|
|
Формирование базы данных всех видов контроля
|
|
|
Статистическая обработка данных контроля с оформлением протоколов и заключений
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать на оборудовании входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ
|
|
Необходимые знания
|
Методы контроля параметров МИС СВЧ и технологических процессов
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за контроль качества МИС СВЧ
|
3.2.4. Трудовая функция
|
Наименование
|
Реализация технологии на основе электронной литографии
|
Код
|
B/04.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии
|
|
Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии
|
|
|
Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии
|
|
|
Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии
|
|
|
Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек
|
|
|
Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии
|
|
|
Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой
|
|
|
Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать с нормативной документацией
|
|
Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ
|
|
|
Необходимые знания
|
Методы электронной литографии
|
|
Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии
|
|
|
Стандарты для подготовки технологической документации
|
|
|
САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество ТП, основанного на электронной литографии
|
3.2.5. Трудовая функция
|
Наименование
|
Реализация технологии на основе проекционной литографии
|
Код
|
B/05.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии
|
|
Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов
|
|
|
Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ
|
|
|
Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии)
|
|
|
Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций
|
|
|
Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек
|
|
|
Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии
|
|
|
Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой
|
|
|
Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать с нормативной документацией
|
|
Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ
|
|
|
Необходимые знания
|
Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии
|
|
Стандарты для подготовки технологической документации
|
|
|
САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество ТП проекционной литографии
|
3.2.6. Трудовая функция
|
Наименование
|
Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций
|
Код
|
B/06.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Разработка методик статистической обработки данных по уровню отклонений параметров и брака на пластинах наногетероструктурных МИС СВЧ
|
|
Анализ причин отклонений, отказов и связывание их с исходными параметрами материалов гетероструктур, технологических операций, топологии
|
|
|
Составление программы дополнительных исследований и измерений
|
|
|
Подготовка рекомендации по устранению причин отклонений параметров и брака МИС СВЧ
|
|
|
Разработка ТЗ для корректировки технологических операций и других мероприятий на основе анализа причин отклонений параметров и отказов
|
|
|
Необходимые умения
|
Разрабатывать и владеть методиками статистической обработки данных
|
|
Владеть методиками межоперационного контроля
|
|
|
Анализировать результаты экспериментов
|
|
|
Разрабатывать ТЗ
|
|
|
Владеть методологией СМК
|
|
|
Необходимые знания
|
Методы планирования эксперимента
|
|
Методы и методики статистического анализа
|
|
|
Теория допусков и теория чувствительности
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за процент выхода годных МИС
|
|
Деятельность, направленная на решение задач повышения эффективности организации
|
3.3. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ
|
Код
|
C
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
Происхождение обобщенной трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Возможные наименования должностей
|
Ведущий инженер-технолог
Инженер-технолог
|
|
Требования к образованию и обучению
|
Высшее образование - специалитет, магистратура
|
|
Требования к опыту практической работы
|
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
инструктаж по безопасному ведению работ
|
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности
|
|
ОКЗ
|
2111
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики
|
|
2113
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики
|
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог
|
|
ОКСО
|
5507002
|
Электроника и микроэлектроника
|
|
01.04.04
|
Физическая электроника, технические науки
|
3.3.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике
|
Код
|
C/01.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к материалам и типу наногетероструктуры
|
|
Обоснование выбора машины для проведения эпитаксии
|
|
|
Расчет технологических режимов выращивания эпитаксиальных слоев
|
|
|
Моделирование роста гетероструктур с применением TCAD
|
|
|
Разработка технологической документации на изготовление гетероструктур
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии
|
|
Необходимые знания
|
Технический английский язык
|
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
|
|
|
Методы эпитаксии для производства гетероструктур, применяемых в наноэлектронике СВЧ
|
|
|
Работа с установками сверхвысокого вакуума
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
|
3.3.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Подготовка и квалификация машин к росту продукции
|
Код
|
C/02.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Выполнение регламента подготовки машины к проведению ТП выращивания наногетероструктуры
|
|
Подготовка материалов для проведения эпитаксии
|
|
|
Проведение роста наногетероструктур в соответствии с ТП
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии
|
|
Необходимые знания
|
Технический английский язык
|
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
|
|
|
Технология молекулярно-лучевой эпитаксии
|
|
|
Работа с установками сверхвысокого вакуума
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
|
3.3.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев
|
Код
|
C/03.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Выбор методов и технических средств для тестирования эпитаксиальных слоев наногетероструктур
|
|
Измерение основных параметров в процессе эпитаксии
|
|
|
Измерение параметров выращенных структур при завершении процесса эпитаксии
|
|
|
Формирование базы данных результатов тестирования и измерения
|
|
|
Необходимые умения
|
Работать с приборами и установками измерения параметров наногетероструктур
|
|
Необходимые знания
|
Методы измерения и тестирования параметров наногетероструктур
|
|
Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
|
3.3.4. Трудовая функция
|
Наименование
|
Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика
|
Код
|
C/04.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Формирование базы данных параметров установки во время реализации процесса роста
|
|
Анализ путем статистической обработки точности выполнения операций и результаты роста
|
|
|
Анализ данных статистической обработки об отклонениях в реализации роста и выработка корректирующих действий в следующей загрузке
|
|
|
Оформление сдаточных документов с сертификатом наногетероструктур для заказчика
|
|
|
Необходимые умения
|
Проводить статистический анализ
|
|
Оформлять протоколы и сертификаты (паспорта) продукции
|
|
|
Необходимые знания
|
Методы статистической обработки данных
|
|
Теория и практика управления технологическими процессами
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
|
3.4. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ
|
Код
|
D
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
Происхождение обобщенной трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Возможные наименования должностей
|
Ведущий инженер-технолог
|
|
Требования к образованию и обучению
|
Высшее образование - специалитет, магистратура
|
|
Требования к опыту практической работы
|
Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
инструктаж по безопасному ведению работ
|
Дополнительные характеристики
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности
|
|
ОКЗ
|
2111
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Физики
|
|
2113
|
Физики, химики и специалисты родственных профессий. Химики
|
|
|
ЕКС
|
-
|
Инженер-технолог
|
|
ОКСО
|
5507002
|
Электроника и микроэлектроника
|
|
01.04.04
|
Физическая электроника
|
3.4.1. Трудовая функция
|
Наименование
|
Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии
|
Код
|
D/01.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ экспериментальных данных предыдущих разработок
|
|
Оценка достижимости параметров путем моделирования основных электрических и эксплуатационных параметров, а также технологии изготовления активных и пассивных элементов МИС СВЧ
|
|
|
Организация проведения экспертных оценок достижимости заданных параметров по ТЗ
|
|
|
Разработка предложений о коррекции ТЗ на ОТР (в случае критичности достижения отдельных параметров)
|
|
|
Необходимые умения
|
Разрабатывать и владеть методами моделирования элементов и МИС в СВЧ-диапазоне
|
|
Владеть методиками экспертных оценок
|
|
|
Владеть методологией СМК
|
|
|
Необходимые знания
|
Методы моделирования активных и пассивных элементов МИС СВЧ
|
|
Методики экспертных оценок
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за корректность оценки ТЗ на реализуемость
|
3.4.2. Трудовая функция
|
Наименование
|
Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ
|
Код
|
D/02.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Анализ технического задания на ОТР, определение базовых технологических процессов для реализации целей ОТР
|
|
Обоснование применения материалов, используемых при производстве МИС СВЧ
|
|
|
Разработка перечня оборудования для реализации технологического процесса производства МИС
|
|
|
Разработка технико-экономического обоснования выбранных решений
|
|
|
Защита на НТС обоснованных технологических решений реализации ОТР
|
|
|
Необходимые умения
|
Оформлять технические решения в виде пояснительной записки, презентации, согласовывать их в соответствии с установленным регламентом и представлять на НТС
|
|
Необходимые знания
|
Системный анализ
|
|
Нормативная документация и описания базовых технологических процессов
|
|
|
Основы материаловедения применительно к электронике СВЧ
|
|
|
Методики проведения технико-экономических исследований при производстве высокотехнологичной продукции
|
|
|
Другие характеристики
|
Профессиональная деятельность, направленная на развитие инновационных разработок
|
3.4.3. Трудовая функция
|
Наименование
|
Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации
|
Код
|
D/03.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Разработка комплекса согласованных мероприятий по улучшению параметров технологического процесса и МИС СВЧ
|
|
Системный анализ влияния принимаемых согласованных решений на качественное и количественное улучшение основных параметров технологического процесса и МИС СВЧ
|
|
|
Необходимые умения
|
Принимать согласованные решения
|
|
Владеть методологией СМК
|
|
|
Необходимые знания
|
Системный анализ
|
|
Теория и практика принятия оптимальных решений
|
|
|
Процессный метод системы менеджмента качества
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за конечный результат, удовлетворяющий заказчика и имеющий перспективу производства электронных компонент СВЧ-техники
|
3.4.4. Трудовая функция
|
Наименование
|
Управление командой по реализации ОТР
|
Код
|
D/04.7
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
7
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
||
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
||||
|
Трудовые действия
|
Постановка частных задач исследовательским и производственным коллективам для достижения основного результата
|
|
Контроль и оценка достижений заданных результатов
|
|
|
Необходимые умения
|
Декомпозировать ТЗ без потери системности
|
|
Принимать согласованные решения
|
|
|
Владеть методологией СМК
|
|
|
Необходимые знания
|
Системный анализ
|
|
Теория и практика принятия оптимальных решений
|
|
|
Процессный метод системы менеджмента качества
|
|
|
Другие характеристики
|
Ответственность за выполнение всех требований ТЗ на ОТР
|
IV. Сведения об организациях - разработчиках профессионального стандарта
4.1. Ответственная организация-разработчик
┌─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┐ │ Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО) │ │ │ │ Генеральный директор Свинаренко Андрей Геннадьевич │ └─────────────────────────────────────────────────────────────────────────┘
4.2. Наименования организаций-разработчиков
|
1.
|
Автономная некоммерческая организация "Национальное агентство развития квалификаций", город Москва
|
|
2.
|
ЗАО "Научно-производственная фирма "Микран", город Томск
|
|
3.
|
ОАО НИИ Полупроводниковых приборов, город Томск
|
|
4.
|
ООО "НПФ "Сенсерия", город Томск
|
|
5.
|
ООО "НПФ "Сибтроника", город Томск
|
|
6.
|
ООО "РИД", город Томск
|
|
7.
|
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР), город Томск
|
